由于加工誤差的存在,硅微陀螺儀驅動和檢測模態之間不可避免會產生正交耦合誤差,對性能造成了一定影響。為了提高硅微陀螺儀性能,提出了正交誤差校正的控制方案。首先,分析了硅微陀螺儀正交誤差的產生原因,指出了對正交誤差校正的重要性;其次,闡述了在結構上增加電極抑制正交誤差的原理;然后,設計了正交誤差信號提取電路和正交誤差反饋控制校正系統,分析了閉環控制系統性能;最后,設計了實驗驗證方案。結果表明,零偏電壓從校正前的5.14 mV減小到校正后的1.43mV,零偏穩定性從校正前的18.22(o)/h減小到校正后的15.45(o)/h。因此,該正交誤差校正方案能夠有效地消除零偏信號中解調殘余正交分量,從而提高硅微陀螺儀性能本文由公司網站滾圓機網站采集轉載中國知網資源整理!www.gunyuanj
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